Content

This course will include a first part covering the main nanofabrication and characterization techniques used in clean-rooms and a second part dedicated to a practical training.  

The first part will be taught as regular lectures. The principles of these techniques will be presented and illustrated through concrete examples obtained in the clean-rooms of the Minatech Campus in Grenoble. This course will provide you with the basics of technological steps, thin film deposition techniques, lithography processes, and advanced characterization used during the fabrication of single devices up to their large-scale integration. 

Content:  

• Substrates/Materials (Si / Ge / SiGe / SOI / sSOI / Si28 / III-V….) 
• Surface preparation (Batch / Single Wafer – Baths / Sprays / Cryogenics /…) 
• Thin film deposition of semiconductors, insulators and metals (PVD / CVD / ECD /… 
• Lithography (Photo / E-beam / Imprint) and etching (Wet / Dry) processes 
• Ion implantation 
• Chemical Mechanical polishing 
• Molecular bonding (Wafer to Wafer / Hybrid bonding / Die to wafer / ….) 
• Characterisation techniques (SPM / SEM-EDX / XRF / Ellipsometry / XPS / XRF / PL / Raman / XRD / …) 

The practical training (second part) will consist in the construction of a micro-patterned device using state-of-the art microfabrication techniques. Fluorescently marked cells will be deposited on the constructed micropatterns and different cell

Course material

• Articles and literature
• Slides

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Project in nano-fabrication.